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洁净空调系统的自控

2019-09-23 浏览次数:5

一、温度
应根据 工艺的需要提出洁净室内的温度基数和精度,如电子 厂洁净室的室内温度基数一般在2224℃,比舒适 性空调要低很多,而且精度要求又很高,一般在±0.51℃。另外工 艺设备的发热量又比较大,生产工艺多变,造成设 备发热量变化也很大,也就是说,影响室 内温度的扰量很大。洁净空 调系统的特点是送风量是根据洁净度的要求确定的,一般情况下,送风量是不变的,因此洁 净空调系统设计是采用定风量变送风状态点的控制形式。洁净空 调系统的另一个特点是由于送风量比较大,所以洁 净室内的温度梯度差就比较小,一般温 度传感器可设置在回风口或回风总管内。若洁净 室内温度精度要求高,采用电 加热器进行微调也是常用的方法。
二、湿度
洁净室 内的湿度也是根据生产工艺的要求而确定的,如电子 厂洁净室一般要求室内湿度基数为40%,但又不能太低,如果湿 度太低容易产生静电。另一个 特点是工艺设备发湿量很小,主要发 湿量是人员发湿量,洁净室 内人员不会太多,所以热湿比多大于5000,热湿比 线几乎是垂直的。发湿量 的最大扰量就是新风。室外空 气的含湿量变化还是比较大的,若在新 风进入洁净空调系统之前就将其湿度控制住,那洁净 室内的湿度控制相对来说就比较容易了。所以新 风的空气处理状态要定在热湿比线和90%的相对 湿度线的交点上,还有一 部分的余湿就要由处理循环空气的的表冷器来承担。这就要 求循环空气表冷器的进水温度要低于循环空气的露点温度。这样循 环空气表冷器的进水温度就很低了,,有时就 不能满足去湿要求,所以在 新风处理前装去湿装置是常用的方法。
三、洁净度
一般在 洁净空调系统设计时所讲的洁净度都是指静态或空态下的洁净度,而实际 情况是工艺设备和工作人员是造成洁净室内洁净度下降的主要因素。所以规 范洁净室内人员动作和穿着严密的洁净服是很有必要的。同时还 要随着检测洁净室内的洁净度,若发现 洁净室的洁净度下降要立即报警,排除造 成洁净度下降的因素。所以洁 净室内的洁净度监测是自控系统的一个重要环节,在洁净 室运行管理中称为动态监测。
四、正压值
洁净室 内一般都有正压的要求,正压值 随着洁净度的级别高低而有高低。工艺排 风的变化和管理不善、门窗关 闭不严是造成洁净室正压值变化的主要原因,必须对 不同级别的洁净室有压差监测和压差控制措施。
五、易燃、易爆、有毒有 害气体的浓度检测
洁净室 内因生产工艺的需要会用到易燃、易爆气 体和对人体有伤害的气体,对于这 些气体的浓度必须要随时检测,当检测 到其浓度超过规定值时,应立即 启动事故排风并报警,这些启 动事故排风风机和报警的设计也是由自控专业来完成。
六、洁净空 调系统自控与节能
在洁净 空调系统设计时就要贯彻节能的理念,要有节能的措施。当洁净室内温度、湿度、洁净度、正压值的参数确定后,选择最 合理可靠的空气处理过程,严格控 制各个状态点参数,就要有 自控手段来保证,尤其是 动态管理自控显得更为重要。室外空 气参数是一直在变化的,室内生 产工艺也是变化的,但是对 洁净室内的空气参数要控制在一定范围内变化,这就是控制精度。传感器的选择和设置、执行机 构的选择和设置都是自控的关键。如要控 制洁净室内的温度,温度传 感器设置在室内还是回风总管内;若设置在洁净室内,设置在哪里,设置多少个传感器,如何取温度值,控制的方法是改变一、二次回 风比例还是改变表冷器或加热器的水温、水量,这些问 题都要由空调专业的设计人员和自控专业的设计人员密切配合制订方案。另外运 行管理中要节能和降低运行成本,没有自 控的手段也是难以实现的。